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軸受面全面に存在する微小気孔から均一に給気が得られる 水中における給気吹き出しの様子エアスピンドル回転振れ精度測定 エアスライドの真直度・振動・再現性 円板軸受、他社製多孔質との性能比較試験 ●平均化効果:空気膜が表面の粗さをならす ●軸受性能値 比較実験 例えば、浮上量6μmの時、オイレスエアベアリングは他社 製品より約1.5倍の高い剛性、約1.2倍の負荷容量を示す 浮上量 荷重 接触式スライドよりも良好   精密測定・検査等、再現性が求められる精密機器に採用 測定状況(静電容量非接触変位計 使用) 測定回転数:10回転分 X方向位置[mm] Y方向変位[μm] ●表面粗さ・うねりに倣うY変位発生 ●繰り返し精度は互いの粗さに依存 接触式の動き 非接触式(エアベアリング)の動き X方向位置[mm] Y方向変位[μm] ●表面粗さの影響を受けずスムーズ ●うねりの振幅も低減 ●高い繰り返し精度 ●スティックスリップが生じない 軸受面直径 給気圧(ゲージ圧) :φ78mm :0.5MPa 当社試作エアスライド Y X Y X 相手面 空気膜(軸受すきま) エアベアリング ※性能データは参考値です。 浮上量(μm) 軸受剛性(N/μm) 0 40 80 60 20 120 100 160 140 220 200 180 0 5 10 15 20 浮上量(μm) 負荷容量(N) 0 500 1000 1500 2000 0 5 10 15 20 OAB 他社製品 OAB 他社製品 OAB TIR:0.15μm 給 気 圧 0.5MPa 回転速度 50000min-1 NRRO:0.03μm 268 選定の目安製品紹介樹脂系ベアリング複層系ベアリング金属系ベアリングエアベアリング技術資料スライドシフター会社案内