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通ケ整个ヨ・承面的微小气孔ス・行均一供气 水中的供气ウ。景 气カッカァ子旋ラェ跳カッ精度イ・定 气カッ滑台的直マ゚度、振カッ、再マヨ性 ヤイ板ヨ・承、其他公司制造多孔之シ・的性能比スマハヤム・ ●平均化效果:空气膜会将表面粗.度整平 ●ヨ・承性能ヨオ 比スマハオム・ 例如,上浮量ホェ6mハア,自ネ・空气ヨ・承的クユ性高于其他公 司イ・品ヤシ1.5倍,且クコ荷容量高ヤシ1.2倍 上浮量 クコ荷 比接触式滑台更好   用于精密イ・定、シ・イ・等要求再マヨ性的精密ノ・アク イ・定ウ。景(使用静オ・容量非接触位移シニ) イ・定旋ラェ数:10次旋ラェ X方向位置[mm] Y方向位移[m] キ「生与表面粗.度、起伏相.的位移 重.精度依タオ于相互的粗.度 接触式.カッ 非接触式(空气ヨ・承).カッ X方向位置[mm] Y方向位移[m] 平ヒウ,不会受到表面粗.度影. 降低起伏幅度 高重.精度 不会イ・生粘滑 ヨ・承面直径 供气ムケ(シニ示ムケ力) :78mm :0.5MPa 本公司ハヤ制气カッ滑台 Y X Y X カヤ偶面 空气膜(ヨ・承シ・隙) 空气ヨ・承 ※性能数据位参考ヨオ。 上浮量(m) ヨ・承クユ性(N/m) 0 40 80 60 20 120 100 160 140 220 200 180 0 5 10 15 20 上浮量(m) クコ荷容量(N) 0 500 1000 1500 2000 0 5 10 15 20 OAB 其他公司イ・品 OAB 其他公司イ・品 OAB TIR:0.15μm 供 气 ムケ 0.5MPa 旋ラェ速度 50000min-1 NRRO:0.03μm 268 ム。ヤ・ア・准 イ・品介ノワ ハ・脂.ヨ・承 .イ・.ヨ・承 金属.ヨ・承 空气ヨ・承 技ハ・ラハ料 滑カッオシケ・ 公司介ノワ