「油空圧技術」6月号に当社寄稿記事が掲載されました

日本工業出版株式会社が発行する専門誌「油空圧技術」2026年6月号に、当社の寄稿記事が掲載されました。

本記事では、静圧気体軸受の概要および分類を踏まえ、多孔質静圧気体軸受（エアベアリング）の特長について解説しています。
特に、材料制御および流量制御による軸受性能の最適化技術の有効性や、その具体的な活用事例について紹介するとともに、今後の展望についても述べています。

近年、半導体製造装置をはじめとする精密機器分野では、さらなる高精度化・高速化に加え、微小な振動や発塵を抑制するクリーンな非接触支持技術への要求が一層高まっています。
当社がこれまで培ってきた多孔質材料技術を活かした多孔質静圧気体軸受は、これらの要求に応える技術として注目されており、本稿ではその適用可能性と技術的優位性について整理しています。

本記事が、半導体関連装置や精密機器の設計・開発に携わる皆さまのご参考となれば幸いです。

■掲載情報

掲載誌：油空圧技術 2026年6月号

発行元：日本工業出版株式会社

https://www.nikko-pb.co.jp/products/detail.php?product_id=6174