半導体

マスクとウェハーの間に投影レンズを入れて露光を行う装置。当社製品はマスクとウェハーの高精度搬送ステージにご採用いただいております。

高精度のウェハー平行度、鏡面仕上げを要求される研削装置、ポリッシング装置の回転軸用のスピンドルにご採用いただいております。

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自動で電子部品を所定の場所に載せる装置。当社製品は電子部品を非接触で吸着し、搬送させるピックアップ部位にご採用いただいております。